パワーモジュール用 絶縁基板
エッチング加工 パワーデバイス
【掲載サンプル】
銅(Cu)材の厚1.0㎜に、ガラエポ樹脂を貼り合わせた材料を、片面よりエッチング加工を行っております。 平井精密工業では、銅厚2.0㎜までの加工対応の実績が有ります。
材質は、銅(Cu)材が主流ですが、アルミニウム(AL)も可能です。(厚みについては要相談とさせて下さい。)
絶縁層は、写真のガラエポ樹脂以外、セラミック(窒化アルミニウム基板、窒化ケイ素基板等)、ポリイミド、PETフィルムの実績が有ります。お客様より材料をご支給頂き、エッチング加工を対応させて頂く事が多いです。
【パワーモジュールとは?】
パワーモジュールとは、電気を直流から交流、交流から直流に変換する、あるいは電圧を高くしたり、低くしたりする事で、電力を効率よく制御するデバイスとなります。電気自動車(EV)、ハイブリッド自動車、鉄道車両、産業用機器、太陽光発電、風力発電、民生機器などの電力制御からモーター制御まで幅広い分野に使用されるキーデバイスです。
近年、パワーモジュールについては、絶縁層において機械的な強度が高くする事、また熱抵抗を低減する為に絶縁層を薄くし、銅の厚みを厚くする傾向にあります。
【エッチング加工について】
平井精密工業では、パワーモジュール用の基板へのエッチング加工をお手伝いさせて頂いております。通常、エッチング加工を行う上で、キーとなるレジストは、生産性を上げる上で印刷レジストが、主に採用されております。 しかし、平井精密工業では、この印刷レジストに加え、フォトエッチングプロセスを用いた工夫を行っております。その為、印刷レジストのみを使用した時と比較すると、仕上がりがより微細に、そしてより直線性を向上させる事が可能です。また断面のテーパ部の寸法について、サンプル画像にあるように、板厚の半分以下に抑える事が可能です。(銅厚1.0㎜の際のテーパ部分:約0.4㎜、銅厚1.5㎜の際のテーパ部分:約0.55㎜となっております。)
【エッチング加工+αの可能性】
絶縁層と貼り合わせる上での接着剤(ろう材)についても除去が可能です。(※ろう材の成分配合によってテスト実施が必要となります。)
その他、アッセンブリに必要な鍍金(メッキ)加工(無電解メッキ)や、アンカー効果を狙った銅表面を粗らす加工、絶縁層をダイシング(カット)する等、試作対応の実績が有ります。平井精密工業の新たな取り組みとしては、片面からエッチングする加工方法から、銅板状に段差を設ける事が可能です。(形状、深度については、要相談とさせて下さい。)
また切削加工を用いて、追加工を+αする事も試作対応の実績が有ります。サイズについては、大小問いません。治具を用いるなどして対応検討させて頂きます。数量につきましても、1個からでの対応も可能です。